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BP系列雙極濺射電源

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BP系列雙極濺射電源主要應用于等離子輔助薄膜沉積 PECVD 和雙陰極濺射鍍膜領域。以其優良的控制算法,能夠提供穩定可靠的雙極性輸出,并對功率、電壓、電流、頻率和脈沖時間等提供精確的輸出控制。

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